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型號(hào):

1700℃兩通道混氣高真空CVD系統(tǒng)GSL-1700X-4-C2HV

描述:產(chǎn)品簡(jiǎn)介:1700℃兩通道混氣高真空CVD系統(tǒng)GSL-1700X-4-C2HV是由單溫區(qū)管式爐、兩路質(zhì)子混氣系統(tǒng)和高真空機(jī)組組成,工作溫度可達(dá)1600℃,混氣系統(tǒng)可以對(duì)兩種氣體進(jìn)行精確的混氣,然后導(dǎo)入管式爐內(nèi)部,本系統(tǒng)極限真空度可達(dá)10-5torr

  • 廠商性質(zhì)

    經(jīng)銷商
  • 更新時(shí)間

    2024-03-12
  • 訪問量

    132
詳細(xì)介紹


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產(chǎn)品簡(jiǎn)介: 1700℃兩通道混氣高真空 CVD 系統(tǒng) GSL-1700X-4-C2HV 是由單溫區(qū)管式爐、兩路質(zhì)子混氣系 統(tǒng)和高真空機(jī)組組成,工作溫度可達(dá) 1600 ,混氣系統(tǒng)可以對(duì)兩種氣體進(jìn)行精確的混氣,然后導(dǎo)入管 式爐內(nèi)部, 本系統(tǒng)極限真空度可達(dá) 10-5 torr。


產(chǎn)品型號(hào)

1700℃兩通道混氣高真空 CVD 系統(tǒng) GSL-1700X-4-C2HV

安裝條件

本設(shè)備要求在海拔 1000m 以下, 溫度 25℃±15℃ ,濕度 55%Rh±10%Rh 下使用。


1、水:不需要


2、電: AC220V 50Hz,必須有良好接地


3、氣:設(shè)備腔室內(nèi)需充注氣體,需自備氣瓶氣源


4、工作臺(tái): 尺寸 1600mmL*600mm(W)*700mm(H),承重 150kg 以上


5、通風(fēng)裝置:需要

主要特點(diǎn)

1、雙層殼體,配有風(fēng)冷系統(tǒng),殼體溫度<55℃。


2、采用高純氧化鋁纖維,有效減少熱量損失。


3 、內(nèi)爐膛表面涂有美國(guó)進(jìn)口氧化鋁涂層,可以提高加熱效率和使用壽命。


4 、采用 PID 控制器 ,可以設(shè)置 30 段升降溫程序。


5 、已通過 CE 認(rèn)證。




技術(shù)參數(shù)

管式爐


1 、電源: 單相 AC 208V-240V    50Hz/60Hz    6KW


2、爐管:高純氧化鋁陶瓷管, 外徑 ?100mm ,內(nèi)徑 ?92mm ,長(zhǎng) 1000mm


3、加熱元件: 1800℃硅鉬棒 8 


4、加熱區(qū)域: 457mm


5、恒溫區(qū)域: 150mm


6 、工作溫度:  1650 ,連續(xù)工作 1600


7、升溫速率:≤5/min


8、控溫精度:± 1


9、熱電偶: B 


10、不銹鋼真空法蘭: 1 對(duì)


11、機(jī)械壓力表: 1 個(gè)


12、針閥: 2 個(gè)


13、連接器: KF-25 1 個(gè)


14、抽氣接口: KF-25 轉(zhuǎn) KF-40


15、卡套接頭: 1/4″

高真空機(jī)組


1、電源: 單相 AC208V-240V    50Hz/60Hz    100W-110W


2、真空泵: 德國(guó) Pfeiffer 真空泵


3、顯示屏: LCD 數(shù)字顯示


4、抽氣速率: N2-33L/s He-39L/s ,H2-32L/s


5、工作范圍: 1000mtorr-10-7mtorr

6、極限: 10-8mtorr  (無(wú)泄漏)





質(zhì)量流量混氣系統(tǒng)


1、電源: 單相 AC208V-240V    50Hz/60Hz    18W


2、功率: 18W


3、混氣箱: ?80mm×120mm

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸: 管式爐 550mm×380mm×520mm ,高真空機(jī)組 600mm×600mm×700mm,質(zhì)量流量混

氣系統(tǒng) 600mm×600mm×700mm


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