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型號:

1700℃單溫區(qū)三通道混氣CVD系統(tǒng)GSL-1700X-F3LV

描述:產(chǎn)品簡介:1700℃單溫區(qū)三通道混氣CVD系統(tǒng)GSL-1700X-F3LV是由單溫區(qū)管式爐、三路浮子混氣系統(tǒng)和雙旋片式真空泵組成,工作溫度可達(dá)1700℃,混氣系統(tǒng)可以對三種氣體進(jìn)行精確的混氣,真空度可達(dá)5×10-2torr

  • 廠商性質(zhì)

    經(jīng)銷商
  • 更新時(shí)間

    2024-03-12
  • 訪問量

    128
詳細(xì)介紹


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產(chǎn)品簡介: 1700℃單溫區(qū)三通道混氣 CVD 系統(tǒng) GSL-1700X-F3LV 是由單溫區(qū)管式爐、三路浮子混氣系統(tǒng) 和雙旋片式真空泵組成,工作溫度可達(dá) 1700 ,混氣系統(tǒng)可以對三種氣體進(jìn)行精確的混氣,真空度可 達(dá) 5 ×10-2 torr。


產(chǎn)品型號

1700℃單溫區(qū)三通道混氣 CVD 系統(tǒng) GSL-1700X-F3LV

安裝條件

本設(shè)備要求在海拔 1000m 以下, 溫度 25℃±15℃ ,濕度 55%Rh±10%Rh 下使用。


1、水:不需要


2、電: AC220V 50Hz,必須有良好接地


3、氣:設(shè)備腔室內(nèi)需充注氣體,需自備氣瓶氣源


4、工作臺: 尺寸 1600mm×600mm×700mm ,承重 150kg 以上


5、通風(fēng)裝置:需要

主要特點(diǎn)

1、雙層殼體,配有風(fēng)冷系統(tǒng),殼體溫度<55℃。


2、采用高純度氧化鋁多晶纖維保溫材料,有效減少能量損失。


3 、內(nèi)爐膛表面涂有美國進(jìn)口氧化鋁涂層,可以提高加熱效率和延長使用壽命。


4 、采用 PID 控制器 ,可以設(shè)置 30 段升降溫程序,并設(shè)有過熱和斷偶保護(hù)功能。


5 、已通過 CE 認(rèn)證。




技術(shù)參數(shù)

管式爐


1 、電源: 單相 AC 208V-240V    50Hz/60Hz    5KW


2、爐管: 99.8%高純氧化鋁陶瓷管, 外徑 ?80mm ,內(nèi)徑 ?72mm ,長 1000mm


3、加熱元件: 1800℃級硅鉬棒 8 


4、加熱區(qū)域: 457mm


5、恒溫區(qū)域: 150mm


6 、工作溫度:  1700


7、升降溫速率: 5/min


8、控溫精度:± 1


9、真空度: 5×10-2 torr

10、泄漏率:  6mtorr/min

真空系統(tǒng)

1、真空泵:雙旋片機(jī)械泵

2、可達(dá)真空度: 5×10-2 torr


3、法蘭:不銹鋼密封法蘭


4、針閥: 2 個(gè)不銹鋼針閥


5、真空泵接口: KF-25


6、軟管接頭: 1/4″


7、真空顯示計(jì): LED 數(shù)字式真空顯示計(jì), 測量范圍 0.1mtorr-850torr

浮子流量混氣系統(tǒng)


1、浮子流量計(jì): 3 個(gè), 精確度 4%FS


2、流量計(jì)范圍: 10cc/min-100cc/min ,16cc/min-160cc/min ,25cc/min-250cc/min


3、壓力表: 1 個(gè),監(jiān)測混合氣體壓力




產(chǎn)品規(guī)格

尺寸:管式爐 550mm×500mm×700mm,混氣系統(tǒng) 600mm×600mm×700mm,真空機(jī)組 600mm× 600mm×700mm


重量: 210kg

可選配件

防腐型數(shù)字式真空顯示計(jì)


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