產(chǎn)品型號

1200℃雙溫立式爐 OTF-1200X-4-VT-II

安裝條件

本設備要求在海拔 1000m 以下，溫度 25℃±15℃ ，濕度55%Rh±10%Rh 下使用。

1、水：不需要

2、電：AC220V 50Hz，必須有良好接地

3 、氣：如作為 CVD 系統(tǒng)使用，需自備氣源（標準帶有寶塔接頭，可自費改制成為雙卡套接頭）

4、工作臺： 尺寸 600mm×600mm×700mm ，承重100kg 以上

5、通風裝置：需要

主要特點

1、雙層殼體結構，帶有風冷系統(tǒng)，殼體表面溫度<60℃。

2、開啟式爐體更方便于爐管的更換。

3、采用高純氧化鋁作為爐膛材料，其表面涂有美國進口 1750℃氧化鋁涂層， 可以提高加熱效 率，同時延長使用壽命。

4 、采用 PID 方式進行溫度調節(jié)，可設置30 段升降溫程序。

5、爐管兩端裝有不銹鋼密封法蘭、真空計、閥門。

6、上端密封法蘭內部焊有不銹鋼勾，用于懸掛樣品。

7、國家，并已通過 CE 認證。

技術參數(shù)

1 、電源： AC 208V-240V    50Hz/60Hz

2、功率： 3KW

3、石英管：外徑 Ø100mm ，內徑 Ø95mm ，長 1000mm

4、加熱元件： 摻鉬鐵鉻鋁合金電阻絲，表面涂有氧化鋯，可延長期使用壽命

5、加熱區(qū)域：總長 400mm ，溫區(qū) I 為 200mm ，溫區(qū) II 為 200mm （兩個溫區(qū)可設置同樣的溫 度）

6、恒溫區(qū)域：300mm

7、工作溫度：每個溫區(qū) 1200℃（<1h），連續(xù)工作 1100℃

8、加熱速率：≤20℃/min

9、控溫精度：± 1℃

10、熱電偶：K 型熱電偶進行測溫

11、真空度：10-2torr （機械泵），10-5torr  （分子泵）

12、漏氣率：<5mtorr/min

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸：不含移動架 550mm×380mm×520mm ，含移動架 600mm×600mm×1200mm

重量：80kg （不含移動架）

可選配件

1、鉸鏈式法蘭

2、防腐型數(shù)字式真空顯示計

3 、KF25 轉接頭（可增加抽氣速率，獲得較高的真空）

4 、VCR 雙卡套接頭（可工作在惰性氣體或還原氣體條件下）

5、高溫絲（摻鉬鐵鉻鋁，可達 1100℃）

注意事項

1 、爐管內的正壓不可高于0.02Mpa。

2、由于氣瓶內部氣壓較高，所以向爐管內通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥。建議在本司選購減壓閥。本司減壓閥量程為 0.01Mpa-0.1Mpa，使用時會更加精確安全。

3、當爐體溫度高于 1000℃時， 爐管內不可處于真空狀態(tài)， 爐管內的氣壓需和大氣壓相當，保持在常壓狀態(tài)。

4 、進入爐管的氣體流量需小于 200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊。

5、石英管的長時間使用溫度<1100℃。

6、對于樣品加熱的實驗，不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對 樣品加熱， 則需時刻關注壓力表的示數(shù)， 若氣壓表示數(shù)大于 0.02MPa，必須立刻打開泄氣 閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂、法蘭飛出等）。

質量認證

1 、CE 認證。

2、所有電器元件（>24V）都通過 UL 、MET 、CSA 認證。

3、若用戶承擔認證費用， 本司保證單臺設備通過德國 TIV 認證或 CAS 認證。

樣品淬火