產品型號

PCE-6V 小型等離子清洗機

主要特點

 1、采用氣體作為清洗介質，避免了因液體清洗介質對被清洗物帶來的二次污染。

   2 、可短時間內清洗掉有機污染物。

   3  、清洗程度可達到分子級。

   4 、可在特定條件下根據需要改變某些材料表面的性能。

   5、清洗過程中的輝光放電可對某些特殊用途的材料加強粘附性、相容性和浸潤性，并可消 毒和殺菌。

   6 、樣品臺可選配加熱功能，可加負偏壓，用以實現離子蝕刻。

   7、廣泛應用于光學、光電子學、電子學、材料科學、生命科學、高分子科學、生物醫(yī)學、 微觀流體學等領域。

技術參數

1 、電壓： AC220V    10A

 2、消耗功率： <500W  （包括真空泵）

 3 、RF 電源： 輸出功率 100W ，輸出頻率 13.56MHz

   4、腔體： Ø190mm×98mm

   5、石英管： Ø180mm×55mm ，壁厚 7mm

   6、內腔： Ø165mm×55mm

   7、清洗電極： Ø120mm

   8、樣品臺： Ø150mm ，有效尺寸 Ø140mm

   9、樣品臺與電極間距： 15mm-50mm 可調

   10、抽氣管： Ø12mm

   11、極限真空度： 0.1Pa

   12、工作真空度： 60Pa-500Pa

   13、氣路數量： 2 路（選裝）

   14、流量控制器數量： 1 、2

   15、流量顯示儀： 2 通道

   16、氣路接口： Ø6mm

   17、加熱樣品臺： Ø140mm ，加熱樣品溫度 RT-600℃±1℃（選裝）

   18、冷卻水壓力： 0.2KPa-0.4KPa

    19、工作環(huán)境： 溫度 5℃-35℃，濕度<80%  （相對濕度）不結露， 海拔高度 0-2000m