產(chǎn)品名稱

GSL-1800X-ZF2 蒸發(fā)鍍膜儀

產(chǎn)品型號(hào)

GSL-1800X-ZF2

安裝條件

本設(shè)備要求在海拔 1000m 以下， 溫度 25℃±15℃ ，濕度 55%Rh±10%Rh 下使用。

1、水：設(shè)備配有自循環(huán)冷卻水機(jī)（加注純凈水或者去離子水）

2、電： AC220V 50Hz，必須有良好接地

3、工作臺(tái)：落地式， 占地面積 2m2 以上

4、通風(fēng)裝置：需要

主要特點(diǎn)

1、采用桌面小型一體化結(jié)構(gòu)，將真空腔體、鍍膜電源及控制系統(tǒng)進(jìn)行整合設(shè)計(jì)，體積與一臺(tái) A3 打印機(jī)相仿。

2 、采用電阻式雙蒸發(fā)源結(jié)構(gòu)， 可快速實(shí)現(xiàn)蒸發(fā)源的轉(zhuǎn)換。蒸發(fā)單元中裝有兩組蒸發(fā)電極可安 裝不同的蒸發(fā)源，適應(yīng)相應(yīng)的鍍膜材料。

3 、配有 0.1%精度蒸發(fā)電源，并具有恒流輸出功能，對(duì)蒸發(fā)舟能起到很好的保護(hù)作用。

4 、可選配石英晶體膜厚控制儀，在鍍膜過程中對(duì)鍍膜速率和膜層厚度進(jìn)行控制。

5 、可將采集到的鍍膜數(shù)據(jù)保存到 U 盤，便于用戶分析控制（選配） 。

6 、本機(jī)將所有功能設(shè)計(jì)成標(biāo)準(zhǔn)化模塊， 根據(jù)用戶不同的需求對(duì)相應(yīng)模塊進(jìn)行組合， 以達(dá)到極 佳的鍍膜環(huán)境，并便于用戶維修與維護(hù)。

7、操作控制采用 7 英寸 TFT 顯示屏顯示操作界面，觸屏操作，實(shí)現(xiàn)全圖形化界面，易用易懂。

技術(shù)參數(shù)

1 、電源： AC220V    1500W

2、蒸發(fā)電源功率： 1000W    5V    200A

3、蒸發(fā)電極有效距離： 44mm

4、樣品臺(tái)： ?120mm  （可旋轉(zhuǎn)）

5、膜厚測(cè)量精度： 0.1 ? 或 0.01?  （可選配高精度型）

6、外接真空機(jī)組：擴(kuò)散泵機(jī)組（可選配國(guó)產(chǎn) 110 機(jī)組或進(jìn)口機(jī)組）（不建議使用擴(kuò)散泵）

7、極限真空度： >3.0×10-3torr （擴(kuò)散泵）、 3.0×10-4torr  （分子泵）（不建議使用擴(kuò)散泵）

8、工作真空度： 5.0×10-3torr （加熱為 100℃-1）

9、真空接口： KF40

10、使用環(huán)境： 溫度 35℃，濕度<75%  （相對(duì)濕度）不結(jié)露，海拔<1500m

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸： 440mm×240mm×260mm  （不包括真空機(jī)組）；重量： 約47kg  （不包括真空泵）