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型號:

DX-7系列晶棒及晶片角度測量儀

描述:DX-7系列晶棒及晶片角度測量儀產(chǎn)品簡介:DX-7系晶棒及晶片角度測量儀是雙側(cè)工作臺,可同時進行操作,用于對晶棒及晶片的角度進行測量

  • 廠商性質(zhì)

    經(jīng)銷商
  • 更新時間

    2024-03-07
  • 訪問量

    270
詳細介紹

DX-7 系列晶棒及晶片角度測量儀


img1


產(chǎn)品簡介: DX-7 系晶棒及晶片角度測量儀是雙側(cè)工作臺,可同時進行操作,用于對晶棒及晶片的角度進行 測量。



DX-7 系列晶棒、晶片角度測量儀參數(shù)對比表




 

DX-7B

DX-7BG

主要特點

設(shè)備構(gòu)造:設(shè)備分為落地式一體機。

外型尺寸: 1132 (長)× 642 (寬)× 1200(高) mm。


樣式 1

樣式 2

樣式 3


功能

可測量晶棒的端面和柱面, 也可以測 量晶片。

帶有六方型刻度貼片板, 可測量晶片端面

可測量晶片參考邊

被測晶 體尺寸

2-6 寸晶棒、 長度 L≤320mm,

2-6 寸晶片。

2-6 寸晶棒、長度 L≤100mm,

2-6 寸晶片。

2-6 寸晶片。








工作臺 圖片

img2

img3

img4


配套

夾具

①V 型夾具(測量晶棒端面時使用)


②底板(測量有參考面的晶棒端面時 使用)


無需夾具


無需夾具

工作臺:以上是常見工作臺,可根據(jù)客戶需要, 任選以上 2 種樣品臺進行組合,也可以雙側(cè)一樣,還可

以根據(jù)被測的晶體尺寸,及晶體被測方位來特殊設(shè)計。


設(shè)備精度

設(shè)備綜合精度為±30″


(以供方提供的標(biāo)準(zhǔn)石英片 10ī1 面測量)

設(shè)備綜合精度為±15″


(以供方提供的標(biāo)準(zhǔn)石英片 10ī1 面測量)

最小讀數(shù)

10″

儀器配置

DX-7B  DX-7BG  X 射線單晶定向儀由機臺、 管套及各種機械附件組成的機械部分; 由穩(wěn)壓器、控制器、 高壓變壓器、放大器、計數(shù)器、風(fēng)冷電機、 X 射線管及各種指示儀表組成的電氣部分構(gòu)成。







技術(shù)指標(biāo)

(1) X 射線發(fā)生器部分:


X 射線管:銅靶,風(fēng)扇冷卻,陽極接地。

管電壓: 30KVP,全壓合閘。


管電流: 0—5mA 連續(xù)可調(diào), 使用 2.0mA 以上, 有可能損壞 X 光管并加大輻射危害。


(2)輸入電源: 單相交流 220V,50Hz,整機總耗電功率不大于 0.3 KW 。


(3)角度測量范圍:


2 θ角:- 10~+110° θ角:-5~+55°。

衍射方式

單衍射

雙衍射

放大系統(tǒng)

傳統(tǒng)放大器

新型放大器

接收系統(tǒng)

計數(shù)管計數(shù)率為 104/秒

計數(shù)管計數(shù)率為 108/秒






(是普通系列的 1 萬倍)

接收器壽命

1 

3 年以上


X 光管壽命

按照國家標(biāo)準(zhǔn) 400 小時

(X 光管可以使用 3-4 個月)

是正常使用狀況下的 2-3 

(X 光管至少可以使用一年)

X 管電流強度

1-1.5mA

0.5-1.0mA

測量和使用效果

X 光管使用 2-3 個月有可能出現(xiàn)多個假峰,影響 準(zhǔn)確度。 需要經(jīng)常更換 X 光管,影響生產(chǎn)效率。

可以濾掉 X 光管的雜峰,不存在假峰現(xiàn)象。 X 光管可 以使用 1 年左右,不需要頻繁調(diào)整機器。

精度

精度±30 秒(或±0.008 度)

精度±15 秒(或±0.004 度)

輻射

測量時使用 mA 量越來越大,射線輻射量較大。

測量時使用 mA 量小,射線輻射量較小。


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