產(chǎn)品型號

1200℃三溫區(qū)可傾斜旋轉(zhuǎn)爐 OTF-1200X-5L-R-III

安裝條件

本設(shè)備要求在海拔 1000m 以下， 溫度 25℃±15℃ ，濕度 55%Rh±10%Rh 下使用。

1、水：不需要

2、電： AC220V 50Hz，必須有良好接地

3、氣： 如作為 CVD 系統(tǒng)使用，需自備氣源（標(biāo)準(zhǔn)帶有雙卡套接頭）

4、工作臺： 尺寸 1200mm×600mm×700mm ，承重 300kg 以上

5、通風(fēng)裝置：需要

主要特點(diǎn)

1、雙層殼體，設(shè)有風(fēng)冷系統(tǒng)。

2、采用高純氧化鋁纖維材料，具有的保溫性、節(jié)能性。

3 、內(nèi)爐膛表面涂有 1750℃進(jìn)口氧化鋁涂層材料，有效地提高反射率及爐膛潔凈度。

4、采用上翻蓋開啟方式，不僅方便更換爐管，且可快速降溫冷卻。

5、石英管內(nèi)設(shè)有揚(yáng)料板，可以更好的混合材料。

6 、已通過 CE 認(rèn)證。

技術(shù)參數(shù)

1 、電源： AC 220V    50Hz/60Hz    4KW

2 、石英管： 異型管， 總長 1200mm ，兩端 ?60mm×420mm ，中間外徑 ?130mm ，內(nèi)徑 120mm

3、爐管旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)速： 0-10rpm

4、爐體傾斜角度： 0-30°

5、加熱區(qū)域： 總長 600mm ，溫區(qū) I 長 150mm ，溫區(qū) II 長 300mm ，溫區(qū) III 長 150mm

6、恒溫區(qū)域： 450mm  （三個溫區(qū)可以設(shè)置同一溫度）

7、工作溫度：  1200℃（<1h），連續(xù)工作 1100℃

8、控溫精度：± 1℃

9、產(chǎn)率： 2kg/爐

10、真空度： 10-2torr

11、進(jìn)氣口： ?6.35mm 卡套接頭

12、出氣口： ?12mm 寶塔嘴接頭

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸： 900mm×600mm×1500mm；重量： 130kg

標(biāo)準(zhǔn)配件

1

石英管

1 根

2

不銹鋼法蘭

1 套